ICP-MS cihazı İndüktif Eşleşmiş Argon Plazma (ICP) ve Kütle Spektrometresi (MS) olmak üzere iki ünitenin bileşiminden oluşur. Numunedeki elementler plazmada iyonlaştırıldıktan sonra kütle spektrometresine gönderilir ve burada kütle/yük oranlarına göre ayrılarak hızlı, hassas ve doğru bir şekilde ölçülür. Cihaz çok sayıd aki elementin nitel ve nicel analizlerini eşzamanlı olarak yapar. Birçok element için gözlenebilme sınırı ppb’nin (µg/L) altındadır.